’S e pròiseact togail mòr ann an gnìomhachas eileagtronaigeach mo dhùthaich a th’ ann am Factaraidh Chuairtean Amalaichte air Sgèile Glè Mhòr 909 aig àm an Naothadh Plana Còig Bliadhna gus sgoltagan a dhèanamh le leud loidhne de 0.18 micron agus trast-thomhas de 200 mm.
Chan e a-mhàin gu bheil teicneòlasan àrd-chruinneas leithid meanbh-innealachadh a’ toirt a-steach teicneòlas saothrachaidh chuairtean amalaichte air sgèile mhòr, ach tha e cuideachd a’ cur riatanasan àrda air purrachd gas.
Tha solar mòr-chuid a’ ghasa airson Pròiseact 909 air a thoirt seachad le co-iomairt eadar Praxair Utility Gas Co., Ltd. sna Stàitean Aonaichte agus pàrtaidhean buntainneach ann an Shanghai gus ionad cinneasachaidh gas a stèidheachadh còmhla. Tha an t-ionad cinneasachaidh gas ri taobh togalach factaraidh pròiseict 909, a’ còmhdach farsaingeachd de mu 15,000 meatair ceàrnagach. Riatanasan purrachd agus toraidh diofar ghasan
Tha naitridean fìor-ghlan (PN2), naitridean (N2), agus ogsaidean fìor-ghlan (PO2) air an dèanamh le dealachadh èadhair. Tha haidridean fìor-ghlan (PH2) air a dhèanamh le electrolysis. Tha argon (Ar) agus helium (He) air an ceannach bho thùs eile. Tha an quasi-gas air a ghlanadh agus air a shìoladh airson a chleachdadh ann am Pròiseact 909. Tha gas sònraichte air a thoirt seachad ann am botail, agus tha caibineat nam botail gas suidhichte anns a’ bhùth-obrach taiceil aig ionad cinneasachaidh a’ chuairteachaidh amalaichte.
Tha gasaichean eile a’ toirt a-steach siostam CDA èadhar teann glan, tioram, le meud cleachdaidh de 4185m3/h, puing drùchd cuideim de -70°C, agus meud gràinean nach eil nas motha na 0.01um anns a’ ghas aig a’ phuing cleachdaidh. Siostam anail èadhair teann (BA), meud cleachdaidh 90m3/h, puing drùchd cuideim 2℃, meud gràinean anns a’ ghas aig a’ phuing cleachdaidh nach eil nas motha na 0.3um, siostam falamh pròiseas (PV), meud cleachdaidh 582m3/h, ìre falamh aig a’ phuing cleachdaidh -79993Pa. Siostam falamh glanaidh (HV), meud cleachdaidh 1440m3/h, ìre falamh aig a’ phuing cleachdaidh -59995 Pa. Tha an seòmar teannachaidh èadhair agus an seòmar pumpa falamh le chèile suidhichte ann an sgìre factaraidh pròiseict 909.
Taghadh stuthan pìoba agus goireasan
Tha riatanasan glanaidh air leth àrd aig a’ ghas a thathar a’ cleachdadh ann an cinneasachadh VLSI.Pìoban gas àrd-ghlanachdMar as trice bidh iad air an cleachdadh ann an àrainneachdan cinneasachaidh glan, agus bu chòir an smachd glanaidh a bhith a rèir no nas àirde na ìre glanaidh an àite a thathar a’ cleachdadh! A bharrachd air an sin, bidh pìoban gas àrd-ghlanachd gu tric air an cleachdadh ann an àrainneachdan cinneasachaidh glan. Tha haidridean fìor-ghlan (PH2), ocsaidean àrd-ghlanachd (PO2) agus cuid de ghasaichean sònraichte lasanta, spreadhaidh, a tha a’ toirt taic do losgadh no gasaichean puinnseanta. Mura tèid siostam pìoban a’ ghasa a dhealbhadh gu ceart no mura tèid na stuthan a thaghadh gu ceart, chan e a-mhàin gun lùghdaich purrachd a’ ghasa a thathar a’ cleachdadh aig a’ phuing gas, ach fàillidh e cuideachd. Bidh e a’ coinneachadh ri riatanasan a’ phròiseis, ach chan eil e sàbhailte a chleachdadh agus bheir e truailleadh don fhactaraidh ghlan, a’ toirt buaidh air sàbhailteachd agus glanadh na factaraidh ghlan.
Chan e a-mhàin gu bheil gealltanas càileachd gas àrd-ghlan aig àm cleachdaidh an urra ri cruinneas cinneasachadh gas, uidheamachd glanaidh agus sìoltachain, ach tha mòran nithean anns an t-siostam loidhne-phìoban cuideachd a’ toirt buaidh mhòr air. Ma tha sinn an urra ri uidheamachd cinneasachaidh gas, uidheamachd glanaidh agus sìoltachain, tha e dìreach ceàrr riatanasan mionaideachd gun chrìoch nas àirde a chuir an sàs gus dìoladh a dhèanamh airson dealbhadh siostam pìobaireachd gas no taghadh stuthan mì-iomchaidh.
Rè pròiseas dealbhaidh a’ phròiseict 909, lean sinn “Còd airson Dealbhadh Ionadan Glan” GBJ73-84 (is e an inbhe làithreach (GB50073-2001)), “Còd airson Dealbhadh Stèiseanan Adhair Teannaichte” GBJ29-90, “Còd airson Dealbhadh Stèiseanan Ocsaidean” GB50030-91, “Còd airson Dealbhadh Stèiseanan Haidridean is Ocsaidean” GB50177-93, agus ceumannan teicnigeach buntainneach airson taghadh stuthan is ghoireasan loidhne-phìoban. Tha “Còd airson Dealbhadh Ionadan Glan” a’ mìneachadh taghadh stuthan is bhalbhaichean loidhne-phìoban mar a leanas:
(1) Ma tha purrachd a’ ghasa nas motha na no co-ionann ri 99.999% agus ma tha am puing drùchd nas ìsle na -76°C, bu chòir pìob stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti le glè bheag de charbon (316L) le balla a-staigh air a pholachadh le dealan no pìob stàilinn gun smal OCr18Ni9 (304) le balla a-staigh air a pholachadh le dealan a chleachdadh. Bu chòir don bhalbha a bhith na bhalbha diaphragm no na bhalbha bellows.
(2) Ma tha purrachd a’ ghasa nas motha na no co-ionann ri 99.99% agus ma tha am puing drùchd nas ìsle na -60°C, bu chòir tiùb stàilinn gun smal OCr18Ni9 (304) le balla a-staigh air a pholladh le dealan a chleachdadh. A bharrachd air bhalbhaichean builg a bu chòir a chleachdadh airson loidhnichean-phìoban gas lasanta, bu chòir bhalbhaichean ball a chleachdadh airson loidhnichean-phìoban gas eile.
(3) Ma tha puing drùchd an èadhair thioram teannaichte nas ìsle na -70°C, bu chòir pìob stàilinn gun smal OCr18Ni9 (304) le balla a-staigh snasta a chleachdadh. Ma tha puing an drùchd nas ìsle na -40℃, bu chòir pìob stàilinn gun smal OCr18Ni9 (304) no pìob stàilinn gun smal ghalbhanaichte teth-bhogaichte a chleachdadh. Bu chòir don bhalbha a bhith na bhalbha builg no na bhalbha ball.
(4) Bu chòir stuth a’ bhalbha a bhith co-chòrdail ri stuth a’ phìoba cheangail.
A rèir riatanasan nan sònrachaidhean agus nan ceumannan teicnigeach buntainneach, bidh sinn a’ beachdachadh sa mhòr-chuid air na taobhan a leanas nuair a bhios sinn a’ taghadh stuthan loidhne-phìoban:
(1) Bu chòir gum biodh treòiteachd adhair stuthan pìoba beag. Tha treòiteachd adhair eadar-dhealaichte aig pìoban de dhiofar stuthan. Ma thèid pìoban le treòiteachd adhair nas motha a thaghadh, chan urrainnear truailleadh a thoirt air falbh. Tha pìoban stàilinn gun smal agus pìoban copair nas fheàrr ann a bhith a’ cur casg air dol a-steach agus creimeadh ocsaidean san àile. Ach, leis gu bheil pìoban stàilinn gun smal nas lugha gnìomhach na pìoban copair, tha pìoban copair nas gnìomhaiche ann a bhith a’ leigeil le taiseachd san àile dol a-steach don uachdar a-staigh aca. Mar sin, nuair a thathar a’ taghadh phìoban airson loidhnichean-phìoban gas àrd-ghlanachd, bu chòir pìoban stàilinn gun smal a bhith mar a’ chiad roghainn.
(2) Tha uachdar a-staigh stuth na pìoba air a ghlacadh a-steach agus tha buaidh bheag aige air mion-sgrùdadh a dhèanamh air a’ ghas. Às dèidh don phìob stàilinn gun smal a bhith air a giullachd, thèid meud sònraichte de ghas a chumail na lattice meatailt. Nuair a thèid gas àrd-ghlan troimhe, thèid am pàirt seo den ghas a-steach don t-sruth adhair agus adhbharaichidh e truailleadh. Aig an aon àm, air sgàth an glacadh agus an mion-sgrùdaidh, bidh am meatailt air uachdar a-staigh na pìoba cuideachd a’ toirt a-mach meud sònraichte de phùdar, ag adhbhrachadh truailleadh don ghas àrd-ghlan. Airson siostaman pìobaireachd le purrachd os cionn 99.999% no ìre ppb, bu chòir pìob stàilinn gun smal ìosal-charboin 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) a chleachdadh.
(3) Tha pìoban stàilinn gun smal nas fheàrr an aghaidh caitheamh na pìoban copair, agus tha an duslach meatailt a thig bho chreimeadh sruthadh adhair an ìre mhath nas lugha. Faodaidh bùthan-obrach cinneasachaidh le riatanasan nas àirde airson glanadh pìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti le glè bheag de charbon (316L) no pìoban stàilinn gun smal OCr18Ni9 (304) a chleachdadh, chan fhaodar pìoban copair a chleachdadh.
(4) Airson siostaman pìobaireachd le purrachd gas os cionn 99.999% no ìrean ppb no ppt, no ann an seòmraichean glan le ìrean glanachd adhair de N1-N6 a tha air an sònrachadh anns a’ “Chòd Dealbhaidh Factaraidh Glan”, pìoban fìor-ghlan noPìoban fìor-ghlan EPbu chòir a chleachdadh. Glan “tiùb glan le uachdar a-staigh rèidh”.
(5) Tha cuid de na siostaman pìobaireachd gas sònraichte a thathas a’ cleachdadh sa phròiseas cinneasachaidh nan gasaichean a tha gu math creimneach. Feumaidh na pìoban anns na siostaman pìobaireachd sin pìoban stàilinn gun smal a tha an aghaidh creimeadh a chleachdadh mar phìoban. Rud eile, thèid milleadh a dhèanamh air na pìoban air sgàth creimeadh. Ma thachras spotan creimeadh air an uachdar, cha bu chòir pìoban stàilinn gun fhàinne àbhaisteach no pìoban stàilinn tàthaichte ghalbhanaichte a chleachdadh.
(6) Ann am prionnsabal, bu chòir a h-uile ceangal pìob-loidhne gas a bhith air a thàthadh. Leis gun sgrios tàthadh phìoban stàilinn ghalbhanaichte an sreath ghalbhanaichte, chan eilear a’ cleachdadh pìoban stàilinn ghalbhanaichte airson pìoban ann an seòmraichean glan.
A’ beachdachadh air na nithean gu h-àrd, is iad seo na pìoban is na bhalbhaichean loidhne-phìoban gas a chaidh a thaghadh sa phròiseact &7&:
Tha pìoban an t-siostaim naitridean àrd-ghlan (PN2) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti ìosal-charboin (316L) le ballachan a-staigh air an dealan-pholladh, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam naitridein (N2) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti le glè bheag de charbon (316L) le ballachan a-staigh air an dealan-pholladh, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostaim haidridean àrd-ghlanachd (PH2) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti ìosal-charboin (316L) le ballachan a-staigh air an dealan-pholladh, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam ocsaidean àrd-ghlanachd (PO2) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti le glè bheag de charbon (316L) le ballachan a-staigh air an snasadh le dealan, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban siostam argon (Ar) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti le glè bheag de charbon (316L) le ballachan a-staigh air an dealan-pholladh, agus thathar a’ cleachdadh bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam helium (He) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti le glè bheag de charbon (316L) le ballachan a-staigh air an dealan-pholladh, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam èadhair ghlan tioram (CDA) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal OCr18Ni9 (304) le ballachan a-staigh snasta, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam èadhair teannaichte analach (BA) air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal OCr18Ni9 (304) le ballachan a-staigh snasta, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean ball stàilinn gun smal den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam falamh pròiseas (PV) air an dèanamh de phìoban UPVC, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean dealan-dè falamh air an dèanamh den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam glanaidh falamh (HV) air an dèanamh de phìoban UPVC, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean dealan-dè falamh air an dèanamh den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam gas sònraichte uile air an dèanamh de phìoban stàilinn gun smal 00Cr17Ni12Mo2Ti le glè bheag de charbon (316L) le ballachan a-staigh air an dealan-pholladh, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean builg stàilinn gun smal den aon stuth.
3 Togail is stàladh phìoban
3.1 Tha Earrann 8.3 de “Chòd Dealbhaidh Togalach Factaraidh Glan” a’ mìneachadh nan riaghailtean a leanas airson ceanglaichean loidhne-phìoban:
(1) Bu chòir ceanglaichean phìoban a bhith air an tàthadh, ach bu chòir pìoban stàilinn ghalbhanaichte teth-bhogte a bhith air an snàthadh. Feumaidh stuth seulachaidh cheanglaichean snàthaichte gèilleadh ri riatanasan Artaigil 8.3.3 den t-sònrachadh seo.
(2) Bu chòir pìoban stàilinn gun smal a bhith ceangailte le tàthadh arc argon agus tàthadh butt no tàthadh socaid, ach bu chòir pìoban gas àrd-ghlan a bhith ceangailte le tàthadh butt gun chomharran air a’ bhalla a-staigh.
(3) Bu chòir don cheangal eadar loidhnichean-phìoban agus uidheam a bhith a rèir riatanasan ceangail an uidheim. Nuair a thathar a’ cleachdadh cheanglaichean pìoba, bu chòir pìoban meatailt a chleachdadh.
(4) Bu chòir don cheangal eadar loidhnichean-phìoban agus bhalbhaichean gèilleadh ris na riaghailtean a leanas
① Bu chòir gasgaidean meatailt no ferrules dùbailte a chleachdadh airson an stuth seulachaidh a tha a’ ceangal loidhnichean-phìoban gas àrd-ghlanachd agus bhalbhaichean a rèir riatanasan a’ phròiseis cinneasachaidh agus feartan a’ ghasa.
②Bu chòir an stuth seulachaidh aig a’ cheangal snàthaichte no flange a bhith air a dhèanamh de polytetrafluoroethylene.
3.2 A rèir riatanasan nan sònrachaidhean agus nan ceumannan teicnigeach buntainneach, bu chòir ceangal loidhnichean-phìoban gas àrd-ghlan a bhith air an tàthadh cho mòr 's as urrainn. Bu chòir tàthadh dìreach butt a sheachnadh rè tàthadh. Bu chòir muinchillean pìoba no joints crìochnaichte a chleachdadh. Bu chòir na muinchillean pìoba a bhith air an dèanamh den aon stuth agus rèidh uachdar a-staigh ris na pìoban. ìre, rè tàthadh, gus casg a chuir air oxidation a’ phàirt tàthaidh, bu chòir gas dìon fìor-ghlan a thoirt a-steach don phìob tàthaidh. Airson pìoban stàilinn gun staoin, bu chòir tàthadh arc argon a chleachdadh, agus bu chòir gas argon den aon ghlanachd a thoirt a-steach don phìob. Feumar ceangal snàthaichte no ceangal snàthaichte a chleachdadh. Nuair a bhios tu a’ ceangal flanges, bu chòir ferrules a chleachdadh airson ceanglaichean snàthaichte. A bharrachd air pìoban ocsaidean agus pìoban haidridean, a bu chòir gasgaidean meatailt a chleachdadh, bu chòir do phìoban eile gasgaidean polytetrafluoroethylene a chleachdadh. Bidh cur beagan de rubair silicone ris na gasgaidean èifeachdach cuideachd. Meudaich buaidh seulachaidh. Bu chòir ceumannan coltach ris a ghabhail nuair a thèid ceanglaichean flange a dhèanamh.
Mus tòisich obair stàlaidh, feumar sgrùdadh lèirsinneach mionaideach a dhèanamh air na pìoban,uidheamachadh, feumar bhalbhaichean, msaa. a dhèanamh. Bu chòir balla a-staigh phìoban stàilinn àbhaisteach a bhith air am picilte mus tèid an stàladh. Bu chòir casg teann a chur air ola bho phìoban, uidheamachadh, bhalbhaichean, msaa. loidhnichean-phìoban ocsaidean, agus bu chòir an dì-ghrèiseadh gu teann a rèir nan riatanasan buntainneach mus tèid an stàladh.
Mus tèid an siostam a stàladh agus a chleachdadh, bu chòir an siostam pìoban tar-chuir is cuairteachaidh a ghlanadh gu tur leis a’ ghas àrd-ghlan a chaidh a lìbhrigeadh. Chan e a-mhàin gu bheil seo a’ sèideadh air falbh na mìrean duslach a thuit a-steach don t-siostam gun fhiosta rè a’ phròiseas stàlaidh, ach cuideachd bidh e a’ cluich pàirt tiormachaidh anns an t-siostam pìoban, a’ toirt air falbh pàirt den ghas anns a bheil taiseachd a tha air a ghabhail a-steach le balla na pìoba agus eadhon stuth na pìoba.
4. Deuchainn cuideam agus gabhail ris a’ phìob-loidhne
(1) Às dèidh an siostam a bhith air a stàladh, feumar sgrùdadh rèidiografach 100% a dhèanamh air na pìoban a bhios a’ giùlan lionntan puinnseanta ann am pìoban gas sònraichte, agus cha bu chòir an càileachd a bhith nas ìsle na Ìre II. Feumar sgrùdadh rèidiografach samplachaidh a dhèanamh air pìoban eile, agus cha bu chòir an co-mheas sgrùdaidh samplachaidh a bhith nas lugha na 5%, cha bu chòir an càileachd a bhith nas ìsle na ìre III.
(2) Às dèidh sgrùdadh neo-sgriosail a dhèanamh, bu chòir deuchainn cuideim a dhèanamh. Gus dèanamh cinnteach à tiormachd agus glanachd an t-siostam pìobaireachd, chan fhaodar deuchainn cuideim uisgeachaidh a dhèanamh, ach bu chòir deuchainn cuideim niùmatach a chleachdadh. Bu chòir an deuchainn cuideim adhair a dhèanamh le bhith a’ cleachdadh naitridean no èadhar teannaichte a tha a rèir ìre glanachd an t-seòmair ghlan. Bu chòir cuideam deuchainn na loidhne-phìoban a bhith 1.15 uiread cuideam an dealbhaidh, agus bu chòir cuideam deuchainn na loidhne-phìoban falamh a bhith 0.2MPa. Rè na deuchainn, bu chòir an cuideam a mheudachadh mean air mhean agus gu slaodach. Nuair a dh’èireas an cuideam gu 50% de chuideam an deuchainn, mura lorgar ana-cainnt no aodion, lean ort a’ meudachadh a’ chuideim ceum air cheum le 10% de chuideam an deuchainn, agus seasmhach an cuideam airson 3 mionaidean aig gach ìre gus an ruig an cuideam deuchainn. Seasmhach an cuideam airson 10 mionaidean, an uairsin lughdaich an cuideam chun chuideam dealbhaidh. Bu chòir an ùine stad cuideim a dhearbhadh a rèir feumalachdan lorg aodion. Tha an riochdaire foaming teisteanasach mura h-eil aodion ann.
(3) Às dèidh don t-siostam falamh a dhol seachad air an deuchainn cuideim, bu chòir dha deuchainn ìre falamh 24-uair a dhèanamh cuideachd a rèir nan sgrìobhainnean dealbhaidh, agus cha bu chòir an ìre cuideim a bhith nas àirde na 5%.
(4) Deuchainn aodion. Airson siostaman pìoba ìre ppb agus ppt, a rèir nan sònrachaidhean buntainneach, cha bu chòir aodion sam bith a mheas mar aodion teisteanasach, ach thathar a’ cleachdadh deuchainn meud aodion rè dealbhadh, is e sin, thathar a’ dèanamh deuchainn meud aodion às dèidh deuchainn teannachadh èadhair. Is e an cuideam an cuideam obrach, agus tha an cuideam air a stad airson 24 uair a thìde. Tha an aodion cuibheasach san uair nas lugha na no co-ionann ri 50ppm mar a tha teisteanasach. Seo mar a thèid an aodion a thomhas:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Anns an fhoirmle:
Aodion uair a thìde (%)
P1-Bruthadh iomlan aig toiseach na deuchainn (Pa)
P2-Bruthadh iomlan aig deireadh na deuchainn (Pa)
T1 - teòthachd iomlan aig toiseach na deuchainn (K)
T2 - teòthachd iomlan aig deireadh na deuchainn (K)
Àm puist: 12 Dùbhlachd 2023