Tha am Factaraidh Cearcaill Amalaichte Sgèile 909 na phrìomh phròiseact togail de ghnìomhachas dealanach na dùthcha agam rè an Naoidheamh Plana Còig Bliadhna gus sgoltagan a thoirt gu buil le leud loidhne de 0.18 microns agus trast-thomhas de 200 mm.
Tha teicneòlas saothrachaidh chuairtean amalaichte fìor mhòr chan ann a-mhàin a ’toirt a-steach teicneòlasan àrd-chruinneas leithid meanbh-innealachadh, ach tha e cuideachd a’ cur riatanasan àrda air purrachd gas.
Tha an solar gas mòr airson Pròiseact 909 air a thoirt seachad le co-iomairt eadar Praxair Utility Gas Co., Earr. de na Stàitean Aonaichte agus pàrtaidhean buntainneach ann an Shanghai gus ionad cinneasachaidh gas a stèidheachadh còmhla. Tha an ionad cinneasachaidh gas ri taobh factaraidh pròiseict 909 togalach, a 'còmhdach sgìre de mu 15,000 meatair ceàrnagach. Riatanasan purrachd agus toraidh diofar ghasaichean
Bidh naitridean fìor-ghlan (PN2), naitridean (N2), agus ocsaidean fìor-ghlan (PO2) air an toirt a-mach le sgaradh èadhair. Tha hydrogen fìor-ghlan (PH2) air a thoirt gu buil le electrolysis. Tha Argon (Ar) agus helium (He) air an ceannach bhon taobh a-muigh. Tha an quasi-gas air a ghlanadh agus air a shìoladh airson a chleachdadh ann am Pròiseact 909. Tha gas sònraichte air a thoirt seachad ann am botail, agus tha an caibineat botal gas suidhichte ann am bùth-obrach cuideachaidh an ionad cinneasachaidh cuairteachaidh aonaichte.
Tha gasaichean eile cuideachd a’ toirt a-steach siostam CDA èadhair teann tioram glan, le tomhas cleachdaidh de 4185m3 / h, puing drùchd cuideam de -70 ° C, agus meud gràin nach eil nas motha na 0.01um anns a’ ghas aig an ìre cleachdaidh. Siostam èadhair teannachaidh anail (BA), tomhas cleachdaidh 90m3 / h, puing drùchd cuideam 2 ℃, meud gràin anns a ’gas aig an ìre cleachdaidh nach eil nas motha na 0.3um, siostam falamh pròiseas (PV), tomhas cleachdaidh 582m3 / h, ceum falamh aig an ìre cleachdaidh -79993Pa . Siostam falamh glanaidh (HV), tomhas cleachdaidh 1440m3/h, ceum falamh aig àite cleachdaidh -59995 Pa. Tha an seòmar compressor èadhair agus an seòmar pumpa falamh le chèile suidhichte ann an raon factaraidh pròiseact 909.
Taghadh de stuthan pìoba agus sgeadachadh
Tha riatanasan glainead fìor àrd aig a’ ghas a thathar a’ cleachdadh ann an cinneasachadh VLSI.Pìoban gas àrd-ghlanmar as trice air an cleachdadh ann an àrainneachdan cinneasachaidh glan, agus bu chòir an smachd glainead aca a bhith co-chòrdail ri no nas àirde na ìre glainead an àite a thathar a’ cleachdadh! A bharrachd air an sin, bidh pìoban gas àrd-ghlan gu tric air an cleachdadh ann an àrainneachdan cinneasachaidh glan. Tha hydrogen fìor-ghlan (PH2), ocsaidean fìor-ghlan (PO2) agus cuid de ghasaichean sònraichte nan gasan lasanta, spreadhaidh, taic losgadh no puinnseanta. Ma tha an siostam loidhne-phìoban gas air a dhealbhadh gu neo-iomchaidh no ma tha na stuthan air an taghadh gu neo-iomchaidh, chan e a-mhàin gun lughdaich purrachd a’ ghas a thathar a’ cleachdadh aig a’ phuing gas, ach fàilligidh e cuideachd. Bidh e a’ coinneachadh ri riatanasan a’ phròiseis, ach tha e mì-shàbhailte a chleachdadh agus nì e truailleadh air an fhactaraidh ghlan, a’ toirt buaidh air sàbhailteachd agus glainead an fhactaraidh ghlan.
Tha gealltanas càileachd gas àrd-ghlan aig an ìre cleachdaidh chan ann a-mhàin an urra ri neo-mhearachdachd cinneasachadh gas, uidheamachd glanaidh agus sìoltachain, ach tha mòran fhactaran a’ toirt buaidh air an t-siostam loidhne-phìoban gu ìre mhòr. Ma tha sinn an urra ri uidheamachd cinneasachaidh gas, uidheamachd glanaidh agus sìoltachain Tha e dìreach ceàrr riatanasan mionaideachd neo-chrìochnach nas àirde a chuir an sàs gus dìoladh a dhèanamh airson dealbhadh siostam pìobaireachd gas neo-iomchaidh no taghadh stuthan.
Rè pròiseas dealbhaidh pròiseact 909, lean sinn an “Còd airson Dealbhadh Lusan Glan” GBJ73-84 (is e an inbhe gnàthach (GB50073-2001)), “Còd airson Dealbhadh Stèiseanan Adhair Co-èignichte” GBJ29-90, “Còd airson Dealbhadh Stèiseanan Ocsaidean” GB50030-91 , “Còd airson Dealbhadh Stèiseanan Hydrogen agus Ocsaidean” GB50177-93, agus ceumannan teicnigeach buntainneach airson taghadh stuthan loidhne-phìoban agus sgeadachadh. Tha “Còd airson Dealbhadh Lusan Glan” a’ sònrachadh an taghadh de stuthan loidhne-phìoban agus bhalbhaichean mar a leanas:
(1). Bu chòir balla a-staigh electropolished a chleachdadh. Bu chòir a 'bhalbhaid a bhith na bhalbhaichean diaphragm no bhalbhaichean bellows.
(2) Ma tha purrachd gas nas motha na no co-ionann ri 99.99% agus gu bheil am puing drùchd nas ìsle na -60 ° C, bu chòir tiùb stàilinn gun staoin OCr18Ni9 (304) le balla a-staigh electropolished a chleachdadh. Ach a-mhàin bhalbhaichean bellows a bu chòir a chleachdadh airson pìoban gas losgaidh, bu chòir bhalbhaichean ball a chleachdadh airson pìoban gas eile.
(3) Ma tha puing drùchd an èadhair teann tioram nas ìsle na -70 ° C, bu chòir pìob stàilinn stainless OCr18Ni9 (304) le balla a-staigh snasta a chleachdadh. Ma tha a’ phuing drùchd nas ìsle na -40 ℃, bu chòir pìob stàilinn stainless OCr18Ni9 (304) no pìob stàilinn fuaigheil ghalbhanaichte le dip teth a chleachdadh. Bu chòir don bhalbhaiche a bhith na bhalbhaiche bellows no na bhalbhaiche ball.
(4) Bu chòir an stuth bhalbhaichean a bhith co-chòrdail ris an stuth pìob ceangail.
A rèir riatanasan sònrachaidhean agus ceumannan teignigeach buntainneach, bidh sinn sa mhòr-chuid a’ beachdachadh air na taobhan a leanas nuair a bhios sinn a’ taghadh stuthan loidhne-phìoban:
(1) Bu chòir permeability adhair stuthan pìoba a bhith beag. Tha permeability èadhair eadar-dhealaichte aig pìoban de dhiofar stuthan. Ma thèid pìoban le barrachd permeability èadhair a thaghadh, chan urrainnear truailleadh a thoirt air falbh. Tha pìoban stàilinn gun staoin agus pìoban copair nas fheàrr air casg a chuir air dol a-steach agus corrach ocsaidean san àile. Ach, leis nach eil pìoban stàilinn gun staoin cho gnìomhach ri pìoban copair, tha pìoban copair nas gnìomhaiche ann a bhith a’ leigeil le taiseachd san àile a dhol a-steach don uachdar a-staigh aca. Mar sin, nuair a thaghas tu pìoban airson pìoban gas àrd-ghlan, bu chòir pìoban stàilinn gun staoin a bhith mar a’ chiad roghainn.
(2) Tha uachdar a-staigh an stuth pìoba air a adsorbed agus tha buaidh bheag aige air mion-sgrùdadh gas. Às deidh a ’phìob stàilinn gun staoin a phròiseasadh, thèid cuid de ghas a chumail anns a’ phìos meatailt aige. Nuair a thèid gas fìor-ghlan troimhe, thèid am pàirt seo den ghas a-steach don t-sruth adhair agus bidh e ag adhbhrachadh truailleadh. Aig an aon àm, mar thoradh air adsorption agus mion-sgrùdadh, bidh am meatailt air uachdar a-staigh na pìoba cuideachd a ’toirt a-mach tomhas sònraichte de phùdar, ag adhbhrachadh truailleadh don ghas àrd-ghlan. Airson siostaman pìobaireachd le purrachd os cionn 99.999% no ìre ppb, bu chòir pìob stàilinn stainless carbon ìosal 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) a chleachdadh.
(3) Tha an aghaidh caitheamh de phìoban stàilinn gun staoin nas fheàrr na pìoban copair, agus tha an duslach meatailt air a chruthachadh le bleith sruth adhair gu ìre nas lugha. Faodaidh bùthan-obrach cinneasachaidh le riatanasan nas àirde airson glainead pìoban stàilinn gun charbon ìosal 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) no pìoban stàilinn gun staoin OCr18Ni9 (304) a chleachdadh, cha tèid pìoban copair a chleachdadh.
(4) Airson siostaman pìobaireachd le purrachd gas nas àirde na ìrean 99.999% no ppb no ppt, no ann an seòmraichean glan le ìrean glainead èadhair N1-N6 air a shònrachadh anns a '"Chòd Dealbhaidh Factaraidh Glan", pìoban ultra-ghlan noEP pìoban fìor-ghlanbu chòir a chleachdadh. Glan “tiùb glan le uachdar a-staigh ultra-rèidh”.
(5) Tha cuid de na siostaman loidhne-phìoban gas sònraichte a thathas a’ cleachdadh sa phròiseas cinneasachaidh nan gasaichean fìor chreimneach. Feumaidh na pìoban anns na siostaman loidhne-phìoban sin pìoban stàilinn gun staoin a chleachdadh mar phìoban. Rud eile, thèid na pìoban a mhilleadh air sgàth corrach. Ma thachras spotan corrach air an uachdar, cha chleachdar pìoban stàilinn fuaigheil àbhaisteach no pìoban stàilinn le tàthadh ghalbhanaichte.
(6) Ann am prionnsabal, bu chòir a h-uile ceangal loidhne-phìoban gas a bhith air a thàthadh. Leis gun sgrios tàthadh phìoban stàilinn ghalbhanaichte an còmhdach ghalbhanaichte, chan eilear a’ cleachdadh pìoban stàilinn ghalbhanaichte airson pìoban ann an seòmraichean glan.
A’ toirt aire do na factaran gu h-àrd, tha na pìoban loidhne-phìoban gas agus na bhalbhaichean a chaidh a thaghadh sa phròiseact &7& mar a leanas:
Tha na pìoban siostam nitrogen àrd-ghlan (PN2) air an dèanamh de 00Cr17Ni12Mo2Ti pìoban stàilinn gun charbon ìosal (316L) le ballachan a-staigh electropolished, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean bellow stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha na pìoban siostam nitrogen (N2) air an dèanamh de 00Cr17Ni12Mo2Ti pìoban stàilinn gun charbon ìosal (316L) le ballachan a-staigh electropolished, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean bellow stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha na pìoban siostam hydrogen fìor-ghlan (PH2) air an dèanamh de 00Cr17Ni12Mo2Ti pìoban stàilinn gun charbon ìosal (316L) le ballachan a-staigh electropolished, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean bellow stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha na pìoban siostam ocsaidean àrd-ghlan (PO2) air an dèanamh de 00Cr17Ni12Mo2Ti pìoban stàilinn gun charbon ìosal (316L) le ballachan a-staigh electro-snasta, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean bellow stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha pìoban siostam Argon (Ar) air an dèanamh de 00Cr17Ni12Mo2Ti pìoban stàilinn gun charbon ìosal (316L) le ballachan a-staigh electropolished, agus thathas a’ cleachdadh bhalbhaichean bellows stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha na pìoban siostam helium (He) air an dèanamh de 00Cr17Ni12Mo2Ti pìoban stàilinn gun charbon ìosal (316L) le ballachan a-staigh electropolished, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean bellow stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha na pìoban siostam èadhair teann tioram (CDA) air an dèanamh de phìoban stàilinn stainless OCr18Ni9 (304) le ballachan a-staigh snasta, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean bellows stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha na pìoban siostam èadhair teannachaidh (BA) air an dèanamh de phìoban stàilinn stainless OCr18Ni9 (304) le ballachan a-staigh snasta, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean ball stàilinn gun staoin den aon stuth.
Tha pìoban siostam falamh pròiseas (PV) air an dèanamh de phìoban UPVC, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean dealan-dè falamh air an dèanamh den aon stuth.
Tha na pìoban siostam falamh glanaidh (HV) air an dèanamh de phìoban UPVC, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean dealan-dè falamh air an dèanamh den aon stuth.
Tha pìoban an t-siostam gas sònraichte uile air an dèanamh de 00Cr17Ni12Mo2Ti pìoban stàilinn gun charbon ìosal (316L) le ballachan a-staigh electropolished, agus tha na bhalbhaichean air an dèanamh de bhalbhaichean bellow stàilinn gun staoin den aon stuth.
3 Togail agus stàladh phìoban
3.1 Tha Earrann 8.3 den “Chòd Dealbhaidh Togail Factaraidh Glan” a’ cur an cèill na h-ullachaidhean a leanas airson ceanglaichean loidhne-phìoban:
(1) Bu chòir ceanglaichean pìoba a bhith air an tàthadh, ach bu chòir pìoban stàilinn ghalbhanaichte a bhith air an snàthadh.
(2) Bu chòir pìoban stàilinn gun staoin a bhith ceangailte le tàthadh argon arc agus tàthadh cnap no tàthadh socaid, ach bu chòir pìoban gas àrd-ghlan a bhith ceangailte le tàthadh butt gun chomharran air a’ bhalla a-staigh.
(3) Bu chòir don cheangal eadar pìoban agus uidheamachd cumail ri riatanasan ceangail an uidheamachd. Nuair a bhios tu a’ cleachdadh ceanglaichean hose, bu chòir pìoban meatailt a chleachdadh
(4) Bu chòir don cheangal eadar pìoban agus bhalbhaichean cumail ris na riaghailtean a leanas
① Bu chòir don stuth ròin a tha a ’ceangal pìoban gas àrd-ghlan agus bhalbhaichean gasgaidean meatailt no ferrules dùbailte a chleachdadh a rèir riatanasan a’ phròiseas toraidh agus feartan gas.
② Bu chòir gum biodh an stuth ròin aig a’ cheangal snàthaichte no flange polytetrafluoroethylene.
3.2 A rèir riatanasan sònrachaidhean agus ceumannan teignigeach buntainneach, bu chòir ceangal pìoban gas àrd-ghlan a bhith air an tàthadh cho mòr ‘s as urrainn. Bu chòir tàthadh butt dìreach a sheachnadh aig àm tàthaidh. Bu chòir sleeves pìoba no joints crìochnaichte a chleachdadh. Bu chòir na sleeves pìoba a bhith air an dèanamh den aon stuth agus rèidh uachdar a-staigh ris na pìoban. ìre, rè tàthadh, gus casg a chuir air oxidation den phàirt tàthaidh, bu chòir gas dìon fìor-ghlan a thoirt a-steach don phìob tàthaidh. Airson pìoban stàilinn gun staoin, bu chòir tàthadh argon arc a chleachdadh, agus bu chòir gas argon den aon fhìor-ghlan a thoirt a-steach don phìob. Feumar ceangal snàthaichte no ceangal snàthaichte a chleachdadh. Nuair a bhios tu a 'ceangal flanges, bu chòir ferrules a chleachdadh airson ceanglaichean snàthaichte. A bharrachd air pìoban ocsaidean agus pìoban haidridean, a bu chòir gasgaidean meatailt a chleachdadh, bu chòir do phìoban eile gasgaidean polytetrafluoroethylene a chleachdadh. Bidh e èifeachdach cuideachd a bhith a’ cur beagan de rubair silicone air na gasgaidean. Leasaich buaidh seulachaidh. Bu chòir ceumannan coltach ris a ghabhail nuair a thèid ceanglaichean flange a dhèanamh.
Mus tòisich obair stàlaidh, sgrùdadh lèirsinneach mionaideach air pìoban,uidheaman, bhalbhaichean, msaa feumar a dhèanamh. Bu chòir am balla a-staigh de phìoban àbhaisteach stàilinn a bhith air a phiocadh mus tèid a stàladh. Bu chòir casg teann a chuir air na pìoban, na criathran, na bhalbhaichean, msaa de phìoban ocsaidean bho ola, agus bu chòir an lughdachadh gu teann a rèir riatanasan buntainneach mus tèid an stàladh.
Mus tèid an siostam a chuir a-steach agus a chleachdadh, bu chòir an siostam loidhne-phìoban tar-chuir is cuairteachaidh a bhith air a ghlanadh gu tur leis a’ ghas àrd-ghlan a tha air a lìbhrigeadh. Bidh seo chan ann a-mhàin a’ sèideadh air falbh na gràinean duslach a thuit a-steach don t-siostam gun fhiosta tron phròiseas stàlaidh, ach tha e cuideachd a’ cluich pàirt tiormachaidh san t-siostam loidhne-phìoban, a ’toirt air falbh pàirt den ghas anns a bheil taiseachd a chaidh a ghlacadh leis a’ bhalla pìoba agus eadhon an stuth pìoba.
4. Deuchainn cuideam pìoba agus gabhail ris
(1) Às deidh an siostam a chuir a-steach, thèid sgrùdadh radagrafaigeach 100% a dhèanamh air na pìoban a tha a’ giùlan lionntan fìor phuinnseanta ann am pìoban gas sònraichte, agus cha bhith an càileachd aca nas ìsle na Ìre II. Bidh pìoban eile fo ùmhlachd sgrùdadh radagrafaigeach samplachaidh, agus cha bhith an co-mheas sgrùdaidh samplachaidh nas ìsle na 5%, cha bhith an càileachd nas ìsle na ìre III.
(2) Às deidh dha a dhol seachad air an sgrùdadh neo-sgriosail, bu chòir deuchainn cuideam a dhèanamh. Gus dèanamh cinnteach à tioramachd agus glainead an t-siostam pìobaireachd, cha bu chòir deuchainn cuideam uisgeachaidh a dhèanamh, ach bu chòir deuchainn cuideam giuthais a chleachdadh. Bu chòir an deuchainn cuideam èadhair a dhèanamh le bhith a’ cleachdadh nitrogen no èadhar teann a tha a rèir ìre glainead an t-seòmair ghlan. Bu chòir cuideam deuchainn na loidhne-phìoban a bhith 1.15 uair an cuideam dealbhaidh, agus bu chòir cuideam deuchainn na loidhne-phìoban falamh a bhith 0.2MPa. Rè an deuchainn, bu chòir an cuideam àrdachadh mean air mhean agus gu slaodach. Nuair a dh ’èiricheas an cuideam gu 50% den chuideam deuchainn, mura lorgar ana-cainnt no aodion, lean ort ag àrdachadh a’ chuideam ceum air cheum le 10% den chuideam deuchainn, agus seasmhach an cuideam airson 3 mionaidean aig gach ìre gus am bi an cuideam deuchainn . Seasmhach an cuideam airson 10 mionaidean, agus an uairsin lughdaich an cuideam gu cuideam dealbhaidh. Bu chòir an ùine stad cuideam a dhearbhadh a rèir feumalachdan lorg aodion. Tha an àidseant foaming teisteanasach mura h-eil aodion ann.
(3) Às deidh don t-siostam falamh a dhol seachad air an deuchainn cuideam, bu chòir dha cuideachd deuchainn ceum falamh 24-uair a dhèanamh a rèir na sgrìobhainnean dealbhaidh, agus cha bu chòir an ìre cuideam a bhith nas àirde na 5%.
(4) Deuchainn aoidionachd. Airson siostaman loidhne-phìoban ìre ppb agus ppt, a rèir mion-chomharrachaidhean buntainneach, cha bu chòir beachdachadh air aodion sam bith mar teisteanas, ach thathas a ’cleachdadh an deuchainn meud aoidionachd rè dealbhadh, is e sin, thèid an deuchainn meud aoidionachd a dhèanamh às deidh an deuchainn teannachadh èadhair. Is e an cuideam an cuideam obrach, agus tha an cuideam air a stad airson 24 uairean. Tha an aodion cuibheasach san uair nas lugha na no co-ionann ri 50ppm mar a tha teisteanasach. Tha àireamhachadh an aodion mar a leanas:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Anns an fhoirmle:
Aoidionachd uair a thìde (%)
P1 - Cuideam iomlan aig toiseach na deuchainn (Pa)
P2 - Cuideam iomlan aig deireadh na deuchainn (Pa)
Teòthachd iomlan T1 aig toiseach na deuchainn (K)
Teòthachd iomlan T2 aig deireadh na deuchainn (K)
Ùine puist: Dùbhlachd-12-2023